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EDI又称为电去离子法，是目前比较先进的生产超纯水的方法，原水先经过双极反渗透处理后，水质中杂质的去除率在99%以上，但要想制造出超纯水，除去溶解在水中的微量元素和CO2等杂质，需要通过EDI进一步净化处理，超纯水电导率≤0.1μS/cm，特点是边再生边运行，不用停机就可再生。
另外一种生产超纯水的方法是阴阳离子交换树脂混床，通过阳离子树脂吸收水中的阳离子，阴离子树脂吸收水中的阴离子，对反渗透处理后的水进一步处理，效果没有EDI好，并且要经常再生，在再生阶段会造成大量的酸碱浪费以及污染，操作麻烦，但是投资低一些。
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